生命科学関連特許情報
| タイトル： | 公開特許公報(A)_蛍光Ｘ線分析装置を用いた定量分析方法 |
| 出願番号： | 2013127020 |
| 年次： | 2015 |
| IPC分類： | G01N 23/223 |
特許情報キャッシュ
加岳井 敦 JP 2015001482 公開特許公報(A) 20150105 2013127020 20130617 蛍光Ｘ線分析装置を用いた定量分析方法 住友金属鉱山株式会社 000183303 阿仁屋 節雄 100091362 油井 透 100090136 清野 仁 100105256 加岳井 敦 G01N 23/223 20060101AFI20141202BHJP JPG01N23/223 5 ＯＬ 13 2G001 2G001AA01 2G001BA04 2G001CA01 2G001FA02 2G001GA01 2G001KA01 2G001MA02 2G001NA10 2G001NA11 2G001NA13 2G001NA17 2G001PA04 本発明は、蛍光Ｘ線分析装置（本発明において「ＸＲＦ」と記載する場合がある。）を用いた、被測定溶液中の含有成分の濃度を定量的に分析する方法に関するものである。さらに詳しくは、被測定溶液中の含有成分の濃度を、小さなばらつきをもって且つ高精度に分析する方法に関する。 含有成分およびその濃度が未知である被測定溶液において、その溶液中のある特定成分の濃度を正確に測定しようとする場合、まずは、当該被測定溶液中の含有成分を特定し、おおよその濃度を測定する分析操作（本発明において「定性分析」と記載する場合がある。）を行う。 当該定性分析の手段として、ＩＣＰ発光分光分析装置（本発明において「ＩＣＰ／ＯＥＳ」と記載する場合がある。）やＸＲＦによる定性分析が一般的に行われる。そして、両装置を用いた定性分析操作自体は、一試料当り数分間から数１０分間程度で実施することができる。 しかし、定性分析を行う被測定溶液の前処理においては、例えばＩＣＰ／ＯＥＳ用試料調製であれば、被測定溶液の試料を全量ピペットを使用して全量フラスコに移し入れ、適当な酸を添加して純水で一定量に定容する操作（本発明において「希釈操作」と記載する場合がある。）が必要である。当該希釈操作は、３０分間から１時間程度の時間を要する手間のかかる操作である。 一方、ＸＲＦは、前述のような希釈操作を必要とせず、プラスチック薄膜を張ったプラスチック容器に被測定溶液の試料を入れるだけで前処理が終了する。その為、当該前処理に要する時間は数分間から数１０分間程度であって、非常に簡便である（非文献特許１参照）。 以上、説明した定性分析が完了して、被測定溶液中の含有成分、および、当該含有成分のおおよその濃度が判明したら、次に、当該被測定溶液中における所望の特定成分の濃度を正確に測定する操作（本発明において「定量分析」と記載する場合がある。）を行う。 当該定量分析の手段としても、ＩＣＰ／ＯＥＳやＸＲＦを用いた定量分析が一般的に行われる。そして両装置共に、多元素の定量分析を、一測定試料当り数分間程度の短時間で実施できる。 しかし、定量分析を行う被測定溶液の前処理においては、例えばＩＣＰ／ＯＥＳ用試料調製であれば、前述した定性分析の場合と同様に複雑な希釈操作が必要である。この為、当該希釈操作に、やはり３０分間から１時間程度の時間を要する。 一方、ＸＲＦで定量分析を実施しようとする場合、被測定溶液中における所望成分の濃度が低いと、前述のようなプラスチック薄膜を張ったプラスチック容器に被測定溶液を入れて測定しようとしても、ＸＲＦの測定感度が低いために正確な定量分析が行えない可能性がある。 このような事態に対応する為、被測定溶液中における所望の含有成分を濃縮することが可能な媒体に、被測定溶液を滴下して測定する前処理操作手法がある。そして、当該前処理操作に要する時間は、数分間から数１０分間程度なので非常に簡便である（非文献特許１参照）。中井泉編集、「蛍光Ｘ線分析の実際」、朝倉書店発行、初版第７刷、２０１１年１月３０日、ｐ．７２−７４ 前述した、被測定溶液中における所望の含有成分を濃縮することが可能な媒体に、被測定溶液を滴下して測定する前処理操作手法について、本発明者は詳細な検討を行った。 その結果、媒体に被測定溶液を滴下する量は、数十μＬ程度の少量しか滴下することができないので、一般的にプッシュボタン式液体用微量体積計（本発明において「マイクロピペット」と記載する場合がある。）を使用して被測定溶液の一定容量を分取することとなる。しかし、作業者のマイクロピペットの操作習熟度が未熟な場合には、分取誤差が大きくなり、結果として正確な測定が行えない可能性があることを知見した。 そして例えば、被測定溶液がそのまま最終製品であるような、厳密な濃度管理が必要となる場合は、前述のような分取誤差が原因となって正確な測定が行えず、厳密な品質管理が行えない可能性があることを知見したものである。 一方、近年のエレクトロニクス技術等の進歩により、これらの業界において素材や原料として用いられる各種溶液への品質要求は高度化、厳密化している。その一方で、生産のグローバル化に伴い、当該各種溶液への生産コストダウンの要求も厳しいものがある。 当該状況の下で、被測定溶液中の所望の含有成分の含有量を、ばらつきが小さく高精度かつ、正確に、低コストで測定する方法の開発の必要がある。 本発明はこのような状況を解決するためになされたものであり、被測定溶液中の所望の含有成分の含有量を、ばらつきを小さく高精度かつ、正確に、低コストで測定する方法の提供を課題とするものである。 上述の課題を解決する為、本発明者は鋭意研究を行った。 そして、ＸＲＦによる被測定溶液中の含有成分の測定方法と、被測定溶液中に含有されない成分であってその添加量が正確に測定されている成分（本発明において「内部標準成分」と記載する場合がある。）を当該被測定溶液中に添加して混合溶液とし、ＸＲＦにより当該混合溶液中における含有成分および内部標準成分の濃度を測定する方法とを、組み合わせる構成に想到し本発明を完成した。 即ち、上述の課題を解決するための第１の発明は、 被測定対象の溶液中に含有される所定成分の濃度を、蛍光Ｘ線分析装置を用いて定量分析する方法であって、 前記被測定対象の溶液の密度を測定する操作と、 前記被測定対象の溶液を秤量する操作と、 前記秤量された被測定対象の溶液へ、前記被測定対象の溶液中に含有されない成分を内部標準成分として添加して混合溶液とし、当該内部標準成分の添加量を秤量する操作と、 前記混合溶液をそのまま、または、所望の割合で希釈した後、蛍光Ｘ線分析装置へ装填する操作と、 前記蛍光Ｘ線分析装置を用いて、前記所定成分と、前記内部標準成分との強度比を求め、予め作成した、前記所定成分と前記内部標準成分との強度比と、前記所定成分と前記内部標準成分との濃度比との検量線を用いて、前記所定成分と、前記内部標準成分との濃度比を求める操作と、 前記所定成分と前記内部標準成分との濃度比と、前記被測定対象の溶液の密度とから、前記被測定対象の溶液中に含有される所定成分の濃度を求めることを特徴とする蛍光Ｘ線分析装置を用いた定量分析方法である。 第２の発明は、 前記所定成分がＮｉ、Ｃｏ、Ｍｎから選択される１種以上の成分であることを特徴とする第１の発明に記載の蛍光Ｘ線分析装置を用いた定量分析方法である。 第３の発明は、 前記内部標準成分がＣｕであることを特徴とする第２の発明に記載の蛍光Ｘ線分析装置を用いた定量分析方法である。 第４の発明は、 前記混合溶液をそのまま、または、所望の割合で希釈した後、蛍光Ｘ線分析装置へ装填する際、 当該混合溶液の定量を媒体中にて乾燥した後、当該媒体と伴に蛍光Ｘ線分析装置へ装填することを特徴とする第１から第３の発明のいずれかに記載の蛍光Ｘ線分析装置を用いた定量分析方法である。 第５の発明は、 前記混合溶液の定量を乾燥させる媒体として、ろ紙を用いることを特徴とする第４の発明に記載の蛍光Ｘ線分析装置を用いた定量分析方法である。 本発明によれば、被測定溶液中の所定の含有成分の含有量を、ばらつきが小さく高精度かつ、正確に、低コストで測定することができる。実施例１に係る検量線の一例である。比較例１に係る検量線の一例である。 本発明は、被測定対象の溶液中に含有される所定成分の濃度を、ＸＲＦを用いて定量分析する方法である。 具体的には、被測定対象の溶液へ、前記被測定対象の溶液中に含有されない成分を内部標準成分として添加して混合溶液とし、前記混合溶液をＸＲＦへ装填する。そして、当該ＸＲＦを用いて、前記所定成分と、前記内部標準成分との強度比を求め、予め作成した、前記所定成分と前記内部標準成分との強度比と、前記所定成分と前記内部標準成分との濃度比との検量線を用いて、前記所定成分と、前記内部標準成分との濃度比を求める。そして、当該濃度比と、前記被測定対象の溶液の密度とから、前記被測定対象の溶液中に含有される所定成分の濃度（体積分率）を求める定量分析方法である。 以下、（１）被測定対象の溶液中に含有される所定成分、（２）内部標準成分、（３）混合溶液の調製、（４）混合溶液のＸＲＦへの装填、（５）検量線とその作成、（６）所定成分の濃度測定、（７）本発明の効果確認試験の順に説明する。（１）被測定対象の溶液中に含有される所定成分 被測定対象の溶液中に含有される所定成分としては、実用的にはＮａ（Ｚ＝１１）以上の原子番号を持つ元素であれば良い。 勿論、本発明は、被測定溶液中に含有される所定成分が、それぞれのＸＲＦによる測定強度が同じような挙動でばらつき、かつ、十分な測定感度が得られるものであれば、Ｎｉ，Ｃｏ，Ｍｎ以外の成分へ適用可能である。（２）内部標準成分 内部標準成分としては、前記被測定対象の溶液中に含有されない成分を選択する。例えば所定成分として、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｍｎ含有する被測定溶液に対する内部標準成分であれば、例えばＣｕを選択することができる。勿論、Ｃｕ以外の成分を内部標準成分として測定することも可能である。（３）混合溶液の調製 そして、秤量された前記被測定対象の溶液へ、前記被測定対象の溶液中に含有されない成分を内部標準成分として添加して混合溶液を得る。ここで、本発明においては、当該混合溶液を得るまでの操作において、液体容量の測定操作を行わず、液体重量、粉体重量を秤量操作で行うものである。 これは、上述したように、被測定溶液の一定容量を分取するような操作において、作業者のマイクロピペットの操作習熟度が未熟な場合には、分取誤差が大きくなり、結果として正確な測定が行えない可能性があるからである。これに対し、液体重量、粉体重量を秤量する操作であれば、誤差が小さく厳密な管理が、容易に可能になることを知見したことによる。 さらに、本発明においては、上記混合溶液の段階において、被測定対象の溶液中に含有される所定成分と内部標準成分との比率が、厳密に決定出来ている。そこで、当該混合溶液を、液体容量の測定操作等の方法で取り扱ったとしても、所定成分と内部標準成分との比率自体は保持されるので、測定精度を低下させることなく、液体容量の測定操作等の方法をもって当該混合溶液を取り扱うことが出来る。（４）混合溶液のＸＲＦへの装填 そこで、当該混合溶液をＸＲＦに装填する際、当該混合溶液の所定容量をそのまま、または、所望の割合で希釈した後、適宜な媒体中へ注ぎ、乾燥させて、当該媒体と伴にＸＲＦへ装填することが出来る。当該ＸＲＦに装填された媒体中においても、前記所定成分と内部標準成分との比率自体は厳密に保たれているからである。尚、当該媒体としては、コストや操作性の観点から、ろ紙が好ましい。 前記希釈の比率は、混合溶液中に含有される所定成分と内部標準成分との濃度の値から、適宜、決定すれば良い。 前記ＸＲＦより、混合溶液中に含有される所定成分と内部標準成分とのＸ線の強度比が測定される。（５）検量線とその作成 一方、予め、混合溶液中に含有される所定成分と内部標準成分とにおける、濃度比とＸ線の強度比との検量線を作成しておく。 勿論、当該検量線を作成する為の標準試料調製操作においても、液体容量の測定操作を行わず、液体重量、粉体重量を秤量操作で行って、調製することが好ましい。 以上の操作により、精度の高い検量線を作成することが出来る。（６）所定成分の濃度測定 前記ＸＲＦより測定された、混合溶液中に含有される所定成分と内部標準成分とのＸ線の強度比と、前記予め作成された検量線とから、所定成分と内部標準成分との濃度比を求める。 ここで、内部標準成分の濃度は既知量であることから、当該所定成分と前記内部標準成分との濃度比と、前記被測定対象の溶液の密度とから、前記被測定対象の溶液中に含有される所定成分の濃度（体積分率）を求めることが出来る。（７）本発明の効果確認試験 Ｎｉ，Ｃｏ，Ｍｎを含有している被測定溶液の一定量を秤量することで、正確な重量で秤取った。次に、内部標準成分として、Ｃｕ溶液の一定量を秤量することで、正確な重量で秤取った。次に、純水の一定量容量を加え混合溶液を得た。 当該混合溶液を、５枚のろ紙にそれぞれ一定量滴下し、当該ろ紙を乾燥させた。当該５枚のろ紙をそれぞれＸＲＦに装填し、Ｎｉ，Ｃｏ，ＭｎおよびＣｕの強度を測定した。 表１にＮｉとＣｕ、表２にＣｏとＣｕ、表３にＭｎとＣｕのＸＲＦによる測定結果を示す。 表１〜３の結果より、Ｎｉ，Ｃｏ，ＭｎおよびＣｕの、それぞれの蛍光Ｘ線強度の相対標準偏差（以下、「ＲＳＤ」と記載する場合がある。）は、２．２〜２．３％程度と大きなばらつきが見られた。しかし、前記４成分の蛍光Ｘ線強度は、同様の挙動をもって変動している。この結果、ＮｉとＣｕ、ＣｏとＣｕ、ＭｎとＣｕにおける、それぞれの蛍光Ｘ線強度比のＲＳＤは０．１〜０．５％程度と、ばらつきが大幅に小さくなった。 以上の結果から、ＸＲＦによる被測定溶液中の含有成分の測定において、被測定溶液へ内部標準成分を添加して測定溶液を調製し、その被測定溶液中の含有成分および内部標準成分の強度を測定して強度比を計算することと、含有成分を測定する被測定溶液および内部標準成分を重量として正確にはかり取ることにより、被測定溶液中の含有成分の含有量を、ばらつきが小さく高精度かつ、正確に低コストで測定することが出来ることが判明し、本発明の効果を確認することが出来た。 つまり、本発明に係る構成によれば、１）ＸＲＦで分析する、所望の含有成分を含む被測定溶液へ、その添加量が正確に測定されている内部標準成分を添加して混合溶液を調製し、当該混合溶液中における所望の含有成分と、内部標準成分との強度を測定、２）所望の含有成分の測定強度と、内部標準成分の測定強度との比（本発明において「強度比」と記載する場合がある。）を計算、という手順をとる。 当該手順により、例え、ＸＲＦの測定環境等の変化に伴い、ＸＲＦの測定強度がばらついたとしても、含有成分と内部標準成分とは同様の挙動をもって、ばらつくことになる。従って、当該ＸＲＦの測定強度ばらつきに拘わらず、強度比は常に一定となる。この結果、ばらつきが小さく高精度かつ、正確な測定が可能となった。 さらに、所定の含有成分を含む被測定溶液および内部標準成分を、容量ではなく、重量として秤量し、秤取ることにより、マイクロピペット等により被測定溶液を一定容量を分取する時に懸念される、作業者の操作習熟度が未熟であるために発生する可能性がある分取誤差の発生を防ぐことができた。 この結果、ばらつきが小さく高精度かつ、正確な測定が低コストで実施可能となった。 以下、実施例および比較例を参照しながら、本発明を実施するための形態について具体的に説明する。尚、使用したＸＲＦはパナリティカル社製のアクシオス、密度計はアントンパール社製のＤＭＡ４５００である。 但し、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。［実施例１］ ポリスチレン製試験管へ、所定成分としてＮｉ，Ｃｏ，Ｍｎを含有する被測定溶液０．５ｍＬを精密天秤で０．１ｍｇの桁まで正確に秤量して秤取った。 内部標準成分としてＣｕを選択し、前記ポリスチレン製試験管へ、Ｃｕ濃度が２０ｇ／Ｌの内部標準溶液１ｍＬを精密天秤で０．１ｍｇの桁まで正確に秤量して秤取った。 さらに、前記ポリスチレン製試験管へ、純水１ｍＬをマイクロピペットで添加して密栓し攪拌し混合溶液を得た。 前記ポリスチレン製試験管内の混合溶液を、マイクロピペットで分取し５枚のろ紙へ、それぞれ２０μＬずつ滴下し、当該ろ紙を乾燥させた。 前記乾燥させたろ紙をＸＲＦに装填し、Ｎｉ，Ｃｏ，ＭｎおよびＣｕのＸ線強度を測定した。そして、ＮｉとＣｕ、ＣｏとＣｕ、ＭｎとＣｕ、のそれぞれのＸ線強度比を計算した。 前記ＮｉとＣｕ、ＣｏとＣｕ、ＭｎとＣｕのそれぞれのＸ線強度比と、予め作成しておいた、ＮｉとＣｕとにおけるＸ線強度比と濃度比との検量線、ＣｏとＣｕとにおけるＸ線強度比と濃度比との検量線、ＭｎとＣｕとにおけるＸ線強度比と濃度比との検量線と、別途に密度計により測定したＮｉ，Ｃｏ，Ｍｎを含有する被測定溶液の密度値より、前記被測定溶液におけるＮｉ，Ｃｏ，Ｍｎの各濃度（容量分率）を求めた。当該結果を表４に示す。 上述した定量分析結果を検討する為、実施例１にて説明した被測定溶液に対し、従来の方法に係るＩＣＰ／ＯＥＳを用いて定量分析を行った。分析結果を表４に示す。 表４の結果より、本発明に係るＸＲＦによる定量分析結果は、Ｎｉ，Ｃｏ，Ｍｎ各濃度のＲＳＤにおいて０．１％から０．５％程度とばらつきが小さく、且つ、従来の方法であるＩＣＰ／ＯＥＳによる分析値とよく一致した。 これは、被測定溶液中の含有成分であるＮｉ，Ｃｏ，Ｍｎと、内部標準成分であるＣｕとの強度をＸＲＦで測定する際、Ｎｉ，Ｃｏ，ＭｎおよびＣｕの各強度が、ばらつくことがあったとしても、前記４成分が同様の挙動をもってばらつくので、ＮｉとＣｕ、ＣｏとＣｕ、ＭｎとＣｕとのそれぞれの強度比は、一定の値を保つからであると考えられる。 この結果、ばらつきが小さくかつ、従来の方法による分析値とよく一致する測定結果が得られた。 以上の結果より、本発明によれば、被測定溶液中の所定の含有成分の含有量を、ばらつきが小さく高精度かつ、正確に、低コストで測定出来ることが確認出来た。 ここで、ＸＲＦにて測定された強度比から、各成分濃度（ｇ／Ｌ）を求める計算の手順について、表４に示したろ紙１枚目のＮｉ濃度（５０．４８ｇ／Ｌ）を例に挙げて、以下に説明する（表４において＊を付した。）。 まず、実施例１に係る測定内容と結果、計算内容と結果、および、略記号を表５に示す。 ここで、表５に示した濃度比ＣＲ１（Ｎｉ／Ｃｕ）＝０．０２３８６３は、ＸＲＦ測定用の検量線標準試料溶液を調製し、これをＸＲＦにて測定して作成した検量線から求めたものである。 まず、濃度比ＣＲ１（Ｎｉ／Ｃｕ）の求め方を説明する。 予め、値付けされたＸＲＦ検量線用の標準溶液を、当該標準溶液中のＮｉ濃度が段階的になるよう濃度を調整して、複数（本実施例においては、５点）のＸＲＦ測定用の検量線標準試料溶液を調製した。 ＸＲＦを用いて、当該ＸＲＦ測定用の検量線標準試料溶液のＮｉおよびＣｕの強度を測定し、その強度比（Ｎｉ／Ｃｕ）を計算してその値をｘとした。一方、予め、計算で求めたＸＲＦ測定用の検量線標準試料溶液中の濃度比（Ｎｉ／Ｃｕ）の値をｙとした。 得られた複数のｘ、ｙの値をグラフにプロットして検量線を作成し、ｙ＝ａｘ＋ｂの関係式を得た。得られた検量線の一例を図１に示す。 ここで、表５に示した強度比ＩＲ１（Ｎｉ／Ｃｕ）をｘとして、上記関係式（ｙ＝ａｘ＋ｂ）に代入すると、ｙ＝ａ×ＩＲ１＋ｂとなる。ｙは、濃度比ＣＲ１（Ｎｉ／Ｃｕ）に相当するので、これより濃度比ＣＲ１（Ｎｉ／Ｃｕ）＝０．０２３８６３を計算で求めることができる。 そして、 Ｎｉ濃度＝ＣＲ１×ＩＳ１×（Ｄ１×１０００）／Ｓ１ であることから、各数値を代入すると、 ０．０２３８６３×１．０４７４×（１．３７１１×１０００）／０．６７８９＝ ５０．４８ を求めることが出来る。 以下、同様に、各成分の濃度を計算することが出来る。 尚、ＸＲＦ測定用の検量線標準試料溶液の濃度比（Ｎｉ／Ｃｕ）は、以下の式より予め求めた。 （Ｎｉ／Ｃｕ）＝（Ｃ２×Ｓ２）／（Ｄ２×１０００）×（１／ＩＳ２） 但し、Ｃ２：標準試料溶液のＮｉ濃度（ｇ／Ｌ） Ｓ２：標準試料溶液のはかり取り量（ｇ） ＩＳ２：内部標準溶液（Ｃｕ濃度：２０ｇ／Ｌ）のはかり取り量（ｇ） Ｄ２：標準試料溶液の密度（ｇ／ｃｍ３）［比較例１］ 実施例１と同様の被測定溶液へ内部標準成分を加えることなく、マイクロピペットで分定量採取し、ろ紙へ２０μＬ滴下し、当該ろ紙を乾燥させた。 前記乾燥させたろ紙をＸＲＦに装填し、Ｎｉ，Ｃｏ，ＭｎのＸ線強度を測定した。 そして、当該Ｘ線強度の測定値と、予め作成した検量線、および、別途、密度計により測定した被測定溶液の密度値より、Ｎｉ，Ｃｏ，Ｍｎの各濃度（容量分率）の定量分析を行った。分析結果を表６に示す。 さらに、表６にも、実施例１にて説明した従来の方法に係るＩＣＰ／ＯＥＳを用いて定量分析結果を記載した。 表６の結果より、Ｎｉ，Ｃｏ，Ｍｎそれぞれの濃度のＲＳＤは２．８％から３．０％程度とばらつきが大きかった。また、従来の方法であるＩＣＰ／ＯＥＳによる分析値よりも低い測定値を示した。 これは、被測定溶液をマイクロピペットにより分取する際の、ばらつきや偏りによるものと考えられる。また、被測定溶液中に含有されるＮｉ，Ｃｏ，Ｍｎの強度をＸＲＦで測定した際における、強度のばらつきが、そのまま濃度のばらつきに反映された結果であると考えられる。 ここで、ＸＲＦにて測定された強度（ｋｃｐｓ）から、各成分濃度（ｇ／Ｌ）を求める計算の手順について、表６に示したろ紙１枚目のＮｉ濃度（４９．９６ｇ／Ｌ）を例に挙げて、以下に説明する（表６において＊を付した。）。 まず、比較例１に係る測定内容と結果、計算内容と結果、および、略記号を表７に示す。 まず、予め、値付けされたＸＲＦ検量線用の標準溶液を、当該標準溶液中のＮｉ濃度が段階的になるよう濃度を調整して、複数（本比較例においては、５点）のＸＲＦ測定用の検量線標準試料溶液を調製した。 ＸＲＦを用いて、当該ＸＲＦ測定用の検量線標準試料溶液のＮｉ強度を測定し、得られた強度をｘとした。一方、予め、計算で求めたＸＲＦ測定用の検量線標準試料溶液中のＮｉ濃度の値をｙとした。 得られた複数のｘ、ｙの値をグラフにプロットして検量線を作成し、ｙ＝ａｘ＋ｂの関係式を得た。得られた検量線の一例を図２に示す。 ここで、表７に示したＮｉの測定強度Ｉ３をｘとして前述の式（ｙ＝ａｘ＋ｂ）に代入すると、ｙ＝ａ×Ｉ３＋ｂとなる。一方、ｙはＮｉの濃度Ｃ３に相当するので、これよりＮｉの濃度Ｃ３＝０．０２４７３７を計算で求めることができる。 そして、 Ｎｉ濃度＝Ｃ３×（Ｄ３×１０００）／Ｓ３ であることから、各数値を代入すると、 ０．０２４７３７×（１．３７１１×１０００）／０．６７８９＝４９．９６ を求めることが出来る。 以下、同様に、各成分の濃度を計算することが出来る。 尚、ＸＲＦ測定用の検量線標準試料溶液のＮｉ濃度は、以下の式より予め求めた。 Ｎｉ濃度（ｇ）＝（Ｃ４×Ｓ４）／（Ｄ４×１０００） 但し、Ｃ４：標準試料溶液のＮｉ濃度（ｇ／Ｌ） Ｓ４：標準試料溶液のはかり取り量（ｇ） Ｄ４：標準試料溶液の密度（ｇ／ｃｍ３） 本発明は、被測定溶液の含有成分の濃度を、複雑な前処理をすることなく、迅速で、ばらつきが小さく高精度かつ、低コストで測定することができ、品質管理の向上に有益である。 被測定対象の溶液中に含有される所定成分の濃度を、蛍光Ｘ線分析装置を用いて定量分析する方法であって、 前記被測定対象の溶液の密度を測定する操作と、 前記被測定対象の溶液を秤量する操作と、 前記秤量された被測定対象の溶液へ、前記被測定対象の溶液中に含有されない成分を内部標準成分として添加して混合溶液とし、当該内部標準成分の添加量を秤量する操作と、 前記混合溶液をそのまま、または、所望の割合で希釈した後、蛍光Ｘ線分析装置へ装填する操作と、 前記蛍光Ｘ線分析装置を用いて、前記所定成分と、前記内部標準成分との強度比を求め、予め作成した、前記所定成分と前記内部標準成分との強度比と、前記所定成分と前記内部標準成分との濃度比との検量線を用いて、前記所定成分と、前記内部標準成分との濃度比を求める操作と、 前記所定成分と前記内部標準成分との濃度比と、前記被測定対象の溶液の密度とから、前記被測定対象の溶液中に含有される所定成分の濃度を求めることを特徴とする蛍光Ｘ線分析装置を用いた定量分析方法。 前記所定成分がＮｉ、Ｃｏ、Ｍｎから選択される１種以上の成分であることを特徴とする請求項１に記載の蛍光Ｘ線分析装置を用いた定量分析方法。 前記内部標準成分がＣｕであることを特徴とする請求項２に記載の蛍光Ｘ線分析装置を用いた定量分析方法。 前記混合溶液をそのまま、または、所望の割合で希釈した後、蛍光Ｘ線分析装置へ装填する際、 当該混合溶液の定量を媒体中にて乾燥した後、当該媒体と伴に蛍光Ｘ線分析装置へ装填することを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の蛍光Ｘ線分析装置を用いた定量分析方法。 前記混合溶液の定量を乾燥させる媒体として、ろ紙を用いることを特徴とする請求項４に記載の蛍光Ｘ線分析装置を用いた定量分析方法。 【課題】被測定溶液中の所望の含有成分の含有量を、ばらつきを小さく高精度かつ、正確に、低コストで測定する方法を提供する。【解決手段】被測定対象の溶液中に含有される所定成分の濃度を、蛍光Ｘ線分析装置を用いて定量分析する方法であって、前記被測定対象の溶液の密度を測定する操作と、前記被測定対象の溶液を秤量する操作と、前記秤量された被測定対象の溶液へ、前記被測定対象の溶液中に含有されない成分を内部標準成分として添加して混合溶液とし、当該内部標準成分の添加量を秤量する操作と、前記混合溶液をそのまま、または、所望の割合で希釈した後、蛍光Ｘ線分析装置へ装填する操作と、前記蛍光Ｘ線分析装置を用いて、前記所定成分と、前記内部標準成分との強度比を求め、予め作成した、前記所定成分と前記内部標準成分との強度比と、前記所定成分と前記内部標準成分との濃度比との検量線を用いて、前記所定成分と、前記内部標準成分との濃度比を求める操作と、前記所定成分と前記内部標準成分との濃度比と、前記被測定対象の溶液の密度とから、前記被測定対象の溶液中に含有される所定成分の濃度（体積分率）を求めることを特徴とする蛍光Ｘ線分析装置を用いた定量分析方法を提供する。【選択図】なし