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| タイトル： | 公開特許公報(A)_フッ化カルボニルおよびヘキサフルオロプロピレンオキシドの製造方法 |
| 出願番号： | 2010073988 |
| 年次： | 2011 |
| IPC分類： | C07D 301/06,C01B 31/00,C07D 303/08 |
特許情報キャッシュ
森本 和賀 中谷 英樹 市原 一義 平井 麻衣 小薮 文彦 JP 2011207767 公開特許公報(A) 20111020 2010073988 20100329 フッ化カルボニルおよびヘキサフルオロプロピレンオキシドの製造方法 ダイキン工業株式会社 000002853 鮫島 睦 100100158 田村 恭生 100068526 吉田 環 100132252 森本 和賀 中谷 英樹 市原 一義 平井 麻衣 小薮 文彦 C07D 301/06 20060101AFI20110922BHJP C01B 31/00 20060101ALI20110922BHJP C07D 303/08 20060101ALI20110922BHJP JPC07D301/06C01B31/00C07D303/08 4 1 ＯＬ 11 4C048 4G146 4C048AA01 4C048BB35 4C048CC01 4C048UU03 4C048XX02 4G146AA27 4G146AD40 4G146BA11 本発明は、フッ化カルボニルおよびヘキサフルオロプロピレンオキシドの製造方法に関する。 フッ化カルボニル（ＣＯＦ２）は、有機合成の試薬等として幅広く用いられている。また、次世代ドライエッチングガス候補とされている。 一方、ヘキサフルオロプロピレンオキシドは、例えばパーフルオロビニルエーテルの原料として用いられるなど、含フッ素化合物の製造において重要な化合物である。また、ヘキサフルオロプロピレンオキシドのオリゴマーは潤滑油や熱媒などとして利用されている。 ヘキサフルオロプロピレンオキシド（以下、ＨＦＰＯとも言う）の製造方法として、ヘキサフルオロプロピレン（以下、ＨＦＰとも言う）を酸素により酸化してＨＦＰＯを得る方法が知られている（特許文献１および２を参照のこと）。 かかるＨＦＰＯ製造方法では、目的物質であるＨＦＰＯに加えて、フッ化カルボニル（ＣＯＦ２）が副生する（特許文献１を参照のこと）。 更に、かかるＨＦＰＯ製造方法では、フッ化カルボニル（ＣＯＦ２）が重合して、下記の式［I］、［II］、［III］の化合物（フッ化カルボニルオリゴマー）も副生する（特許文献２を参照のこと）。 Ｆ（ＣＦ２Ｏ）ｌＣＯＦ ［I］ Ｆ（ＣＦ２Ｏ）ｍＣＦ２ＣＯＦ ［II］ Ｆ（ＣＦ２Ｏ）ｎＯＣＦ２ＣＯＦ ［III］（式中、ｌ、ｍ、ｎはそれぞれ１〜５０の整数であり、ｌ、ｍ、ｎが１より大きい場合、ＣＦ２Ｏ繰返し単位間の結合は頭−尾結合の外に、頭−頭結合および／または尾−尾結合をも含み、式［III］の化合物はｎ＝ｌ＋１のときに式［I］の化合物に包含され得る。） 副生したフッ化カルボニルオリゴマーは、これを反応初期の反応系に添加することにより、ＨＦＰＯの収率を向上させ得るとされている（特許文献２を参照のこと）。 しかしながら、フッ化カルボニルオリゴマーそれ自身については、現在のところ産業上の用途が見出されておらず、アルカリで中和した後に廃棄しているのが実状である。特公昭４５−１１６８３号公報特開平６−１０７６５０号公報特開平１−９３５５７号公報特開２００３−３１３０１６号公報「デュポン ＨＦＰＯ 特性、使用、貯蔵、および取扱い」（DuPont HFPO Properties, Uses, Storage, and Handling）、[online]、２００８年、デュポン・フルオロプロダクツ（DuPont Fluoroproducts）、［平成２２年３月１５日検索］、インターネット<URL:http://www2.dupont.com/FluoroIntermediates/en_US/assets/downloads/k05132.pdf> 従来、フッ化カルボニルは、テトラフルオロエチレンと酸素とを紫外線照射下で反応させて得られるポリエーテル化合物を、活性炭触媒の存在下に約１８０〜４００℃の温度で熱分解させて製造されている（特許文献３を参照のこと）。 このようなポリエーテル化合物に代えて、上述のＨＦＰＯ製造方法において副生するフッ化カルボニルオリゴマーを利用できれば好都合である。そこで、別のフッ化カルボニルの製造方法として、以下の一般式（１）： ＣＦ３Ｏ（ＣＦ２Ｏ）ｎ−Ｒ （１）（式中、−Ｒは−ＣＯＦ、−ＯＣＯＦまたは−ＣＦ２ＣＯＦを示し、ｎは０〜５０の整数を示す。）で表される化合物からなる群より選択される少なくとも１種の化合物を、触媒の存在下で分解反応させる方法が提案されており、一般式（１）で表わされる化合物として、上述のＨＦＰＯ製造方法において副生するフッ化カルボニルオリゴマーを利用できるとされている（特許文献４を参照のこと）。 しかしながら、この方法は、フッ化カルボニルオリゴマーの分解反応に触媒を必須として用いており、触媒が高価であることや、プロセスが煩雑になることを考慮すると、工業的には優位とはいえない。 更に、フッ化カルボニルオリゴマーの分解反応時にＨＦＰＯが存在すると、触媒によってＨＦＰＯの分解および／または異性化が起こることが知られている（非特許文献１を参照のこと）。このため、目的物質であるＨＦＰＯの回収量にロスが生じる。 本発明の目的は、フッ化カルボニルとヘキサフルオロプロピレンオキシドとを効率的に併産する方法を提供することにある。 本発明によれば、フッ化カルボニルおよびヘキサフルオロプロピレンオキシドを製造する方法であって、 ａ）ヘキサフルオロプロピレンを酸素により酸化して、ヘキサフルオロプロピレンオキシドと、以下の一般式（Ｘ）： ＣＦ３Ｏ（ＣＦ２Ｏ）ｎ−Ｒ ・・・（Ｘ）（式中、−Ｒは−ＣＯＦ、−ＯＣＯＦまたは−ＣＦ２ＣＯＦを示し、ｎは０〜５０の整数を示す。）で表わされるオリゴマーとを含む第１混合物を得る工程、および ｂ）前記オリゴマーを前記ヘキサフルオロプロピレンオキシドの存在下にて熱分解して、フッ化カルボニルおよびヘキサフルオロプロピレンオキシドを含む第２混合物を得る工程を含む方法が提供される。 かかる本発明の製造方法では、まず工程ａ）にてＨＦＰを酸素により酸化してＨＦＰＯとし、その際、上記一般式（Ｘ）で表わされるオリゴマー（以下、単にオリゴマーとも言う）を副生させ、そして工程ｂ）にてオリゴマーを熱分解してフッ化カルボニルを得ており、この工程ｂ）は触媒の非存在下で実施し得るので、工程ｂ）にて同時に存在するヘキサフルオロプロピレンが触媒により分解／異性化することがない。これにより、フッ化カルボニルとＨＦＰＯとを効率的に併産することができる。 本発明の上記製造方法は、 第２混合物からフッ化カルボニルを含むフラクションおよびヘキサフルオロプロピレンオキシドを含むフラクションを別個に分離する工程を更に含み得る。これにより、フッ化カルボニルとＨＦＰＯとをそれぞれの用途に利用できる。 本発明の１つの態様においては、第２混合物または第２混合物から分離されるフッ化カルボニルを含むフラクションを工程ａ）に付す。従来のＨＦＰＯ製造設備は、ＣＯＦ２を分離回収するための装置を通常含んでいる。よって、本態様のように、分解生成したＣＯＦ２を含む第２混合物またはＣＯＦ２含有フラクションを単にＨＦＰ酸化反応系に戻すことにより、従来のＨＦＰＯ製造設備を利用してＣＯＦ２を容易に回収することができ、かつ、ＣＯＦ２回収量を従来よりも増加させることができる。 本発明の１つの態様においては、第２混合物または第２混合物から分離されるフッ化カルボニルを含むフラクションを第１混合物に加えて第３混合物とし、第３混合物または第３混合物から分離されるオリゴマーおよびヘキサフルオロプロピレンオキシドを含むフラクションを工程ｂ）に付す。本態様によっても、従来のＨＦＰＯ製造設備を利用してＣＯＦ２を容易に回収することができ、かつ、ＣＯＦ２回収量を従来よりも増加させることができる。 本発明によれば、ＨＦＰの酸化によりＨＦＰＯを得、その際に副生するオリゴマーを、触媒を使用せずに、熱分解してフッ化カルボニルを得ているので、同時に存在するヘキサフルオロプロピレンが触媒により分解／異性化することがなく、これにより、フッ化カルボニルとＨＦＰＯとを効率的に併産することができる。本発明の１つの実施形態におけるフッ化カルボニルおよびヘキサフルオロプロピレンオキシドの製造方法を説明するための概略図である。本発明のもう１つの実施形態におけるフッ化カルボニルおよびヘキサフルオロプロピレンオキシドの製造方法を説明するための概略図である。本発明の更にもう１つの実施形態におけるフッ化カルボニルおよびヘキサフルオロプロピレンオキシドの製造方法を説明するための概略図である。（実施形態１） 本発明の１つの実施形態について図１を参照しながら詳述する。・工程ａ） 図１に示すように、予め溶媒を仕込んだ反応器１にＨＦＰおよび酸素（Ｏ２）を供給し、反応器１にてＨＦＰを酸素により酸化（液相反応）してＨＦＰＯを生成させる。 溶媒には、この酸化反応に不活性な飽和ハロゲン炭素、例えば１，１，２−トリクロロ−１，２，２−トリフルオロエタン、トリクロロフルオロメタン、パーフルオロ（ジメチルシクロブタン）、四塩化炭素などを用い得る。 上記酸化反応では、目的物質であるＨＦＰＯに加えて、以下の一般式（Ｘ）： ＣＦ３Ｏ（ＣＦ２Ｏ）ｎ−Ｒ ・・・（Ｘ）（式中、−Ｒは−ＣＯＦ、−ＯＣＯＦまたは−ＣＦ２ＣＯＦを示し、ｎは０〜５０の整数、好ましくは０〜１５の整数を示す。）で表わされるオリゴマーが副生する。 この一般式（Ｘ）で表わされるオリゴマーは、１種の化合物であってもよいが、通常は、末端基−Ｒおよび／またはｎ数の異なる複数種類の化合物が混在した混合物であり得る。 上記一般式（Ｘ）において、隣接する２つのＣＦ２Ｏ繰返し単位の間の結合は、 −ＣＦ２−Ｏ−ＣＦ２−Ｏ− −ＣＦ２−Ｏ−Ｏ−ＣＦ２− −Ｏ−ＣＦ２−ＣＦ２−Ｏ− −Ｏ−ＣＦ２−Ｏ−ＣＦ２−のうち、いずれであってもよい。−ＣＦ２−Ｏ−ＣＦ２−Ｏ−および−Ｏ−ＣＦ２−Ｏ−ＣＦ２−の場合にはエーテル結合を形成し、−ＣＦ２−Ｏ−Ｏ−ＣＦ２−の場合には過酸化エーテル結合を形成する。 一般式（Ｘ）で表されるオリゴマーにおける過酸化エーテル結合の割合は、ヨード滴定法で測定した活性酸素濃度が０．０１〜２５重量％となるような割合であることが好ましい。一般式（Ｘ）で表されるオリゴマーがこの条件を充たす限り、一般式（Ｘ）における末端基−Ｒが−ＣＯＦ、−ＯＣＯＦまたは−ＣＦ２ＣＯＦである化合物の割合については制限がない。 生成したＨＦＰＯおよびオリゴマーは、例えば気相状態で反応器１より抜き出され得る。抜き出された気相は、通常、ＨＦＰＯおよびオリゴマーに加えて、未反応のＨＦＰ、副生したアセチルフルオライド（ＣＦ３ＣＯＦ）およびフッ化カルボニル（ＣＯＦ２）なども含み得る。 反応条件は、最終的なＨＦＰＯおよびＣＯＦ２回収量が大きくなるように、使用する反応器１および溶媒などに応じて適宜設定され得、例えば以下の通りであり得るが、本実施形態はこれに限定されるものではない。 反応器１に溶媒を容量の３０〜５０％仕込み、ＨＦＰを溶媒に対して１〜４０％、好ましくは５〜３５％仕込み、９０〜１５０℃に加熱する。 そこに酸素ガスを分注圧０.０２〜０．５ＭＰａ（ゲージ圧力）、好ましくは０.０５〜０．１ＭＰａ（ゲージ圧力）の分圧で分注して反応を行う。酸素のトータル仕込み量は原料のＨＦＰの転化率を分析することによって決定できるが、おおよそ理論量の１．３〜１．７倍量である。 また、このときの全反応圧は溶媒種、ＨＦＰ仕込み比、温度条件等によって変動するため、特に規定はないが、一般的には１．５〜４ＭＰａ（ゲージ圧力）である。 反応時間（平均滞留時間）は、例えば１〜１０時間である。 かかる反応操作は、回分式でも密閉容器中で連続式でも行うことができる。反応器１は液の撹拌および加熱が可能な金属製容器が好適である。 これにより、ＨＦＰＯおよびオリゴマーを含む第１混合物が得られる。 第１混合物は、ＨＦＰＯおよびオリゴマーに加えて、未反応のＨＦＰ、副生したアセチルフルオライド（ＣＦ３ＣＯＦ）およびフッ化カルボニル（ＣＯＦ２）なども含み得、適宜、常法の分離操作（例えば蒸留など）に付してよい。この場合、第１混合物から分離されたオリゴマーおよびＨＦＰＯを含むフラクションが工程ｂ）に使用される。オリゴマーは、できるだけ多くを工程ｂ）に使用することが好ましく、例えば、生成したオリゴマーの実質的に全部が工程ｂ）に使用され得る。他方、ＨＦＰＯは、少なくとも一部がオリゴマーと一緒に工程ｂ）に付されればよく、工程ｂ）の前にその一部または大部分が分離されていてよい。・工程ｂ） 再び図１を参照して、先の工程ａ）にて得られた第１混合物、またはこれから分離されたオリゴマーおよびＨＦＰＯ含有フラクションを熱分解器３に移送し、熱分解器３にてオリゴマーを熱分解（本発明を限定するものではないが、気液両相における分解が同時に進行）してフッ化カルボニル（ＣＯＦ２）を生成させる。 このとき、ＨＦＰＯが同時に存在するが、熱分解器３には触媒が存在しないので、触媒による分解および／または異性化が起こらない。よって、ＨＦＰＯは実質的に熱分解の影響を受けず、ＨＦＰＯの量は熱分解の前後でほとんど変化しない。 分解条件は、最終的なＨＦＰＯおよびＣＯＦ２回収量が大きくなるように、使用する熱分解器３などに応じて適宜設定され得、例えば以下の通りであり得るが、本実施形態はこれに限定されるものではない。 供給するオリゴマーおよびＨＦＰＯの比は、オリゴマー：ＨＦＰＯ＝例えば０．１〜１００、好ましくは０．３〜１０（体積基準）である。 熱分解器３内の温度は、例えば６０〜２００℃、好ましくは８０〜１５０℃とし得る。 また、熱分解器３内の圧力は、常圧、加圧、減圧のいずれでもよいが、例えば０．０１〜１．００ＭＰａ（ゲージ圧力）であり得る。 分解時間（平均滞留時間）は、例えば０．１〜１０時間である。 かかる分解操作は、回分式でも密閉容器中で連続式でも行うことができる。 これにより、ＨＦＰＯおよびフッ化カルボニル（ＣＯＦ２）を含む第２混合物が得られる。得られた第２混合物は、適宜、分離装置５にて常法の分離操作（例えば蒸留など）に付して、ＣＯＦ２含有フラクションおよびＨＦＰＯ含有フラクションを別個に分離してよい。かかる分離操作は本発明に必須でないことに留意されたい（添付の図面において、任意操作として点線にて示す）。 以上、本実施形態によれば、フッ化カルボニルとＨＦＰＯとを効率的に併産することができる。具体的には、従来のＨＦＰＯ製造方法では、ＨＦＰＯ収率４０〜７０％であるところ、本実施形態によれば、実施条件にもよるが、ＨＦＰＯ収率５０〜７０％となり、平均的な収率が向上する。上限値は同等であり得るが、これは、ＨＦＰＯ収率の上限は反応の選択率により決まるためである。一方、従来のＨＦＰＯ製造方法では、ＣＯＦ２収率はＨＦＰＯに対して０．０１〜０．０６であるところ、本実施形態によれば、実施条件にもよるが、ＣＯＦ２収率はＨＦＰＯに対して０．０３〜０．１２となり、平均的にＨＦＰＯに対するＣＯＦ２の収率が向上する。（実施形態２） 本発明のもう１つの実施形態について図２を参照しながら詳述する。以下、実施形態１と異なる点を中心に述べるものとし、特に説明のない限り実施形態１と同様とする。 図２に示すように、本実施形態においては、第２混合物を、または第２混合物から分離されたＣＯＦ２含有フラクションを反応器１に戻す。得られる第１混合物は、実施形態１における第１混合物に比べてＣＯＦ２の含有量（または含有率）が増加する。 一般的に、酸化反応の際にフッ化カルボニル（ＣＯＦ２）が副生するので、従来のＨＦＰＯ製造設備はＣＯＦ２を分離回収するための装置を通常含んでいる。従来のＨＦＰＯ製造設備に熱分解器３を付加し、熱分解器３にて分解生成したＣＯＦ２を、第２混合物またはＣＯＦ２含有フラクションの形態で反応器１に戻すことにより、従来のＨＦＰＯ製造設備を利用してＣＯＦ２を容易に分離回収することができる。そして、本実施形態によれば、熱分解器３にてオリゴマーを熱分解してＣＯＦ２に分解しているので、その分、ＣＯＦ２回収量を従来よりも増加させることができる。 なお、図２に示す態様では、例示的に、ＣＯＦ２分離装置７の後段に熱分解器３が位置する場合を示しているが、第１混合物または第１混合物から分離されるオリゴマーおよびヘキサフルオロプロピレンオキシドを含むフラクションが工程ｂ）に付され得る限り、本実施形態はこれに限定されないことに留意されたい。 加えて、反応器１に戻した第２混合物またはＣＯＦ２含有フラクションが、オリゴマーを含んでいる場合には、反応器１における酸化反応開始の誘導期間を短く、好ましくは無くし、ＨＦＰＯの収率を向上させることができる。（実施形態３） 本発明の更にもう１つの実施形態について図３を参照しながら詳述する。以下、実施形態２と異なる点を中心に述べるものとし、特に説明のない限り実施形態２と同様とする。 図３に示すように、本実施形態においては、第２混合物を、または第２混合物から分離されたＣＯＦ２含有フラクションを、反応器１と熱分解器３の間にて、第１混合物に加えて第３混合物とする。得られる第３混合物は、第１混合物に比べてＣＯＦ２の含有量（または含有率）が増加する。 上述のように、従来のＨＦＰＯ製造設備はＣＯＦ２を分離回収するための装置を通常含んでいる。従来のＨＦＰＯ製造設備に熱分解器３を付加し、熱分解器３にて分解生成したＣＯＦ２を、第２混合物またはＣＯＦ２含有フラクションの形態で反応器１と熱分解器３との間の任意の適切な位置に戻すことにより、従来のＨＦＰＯ製造設備を利用してＣＯＦ２を容易に回収することができる。そして、本実施形態によっても、熱分解器３にてオリゴマーを熱分解してＣＯＦ２に分解しているので、その分、ＣＯＦ２回収量を従来よりも増加させることができる。戻す位置は、反応器１の直後でもよいし、他の成分（例えば未反応のＨＦＰ、副生したＣＦ３ＣＯＦなど）の少なくとも１種を分離した後、２種以上を分離する場合にはその途中またはその最後など、いずれの位置でもよい。 なお、図３に示す態様では、例示的に、ＣＯＦ２分離装置７の後段に熱分解器３が位置する場合を示しているが、第３混合物または第３混合物から分離されるオリゴマーおよびヘキサフルオロプロピレンオキシドを含むフラクションが工程ｂ）に付され得る限り、本実施形態はこれに限定されないことに留意されたい。 実施形態１の工程ａ）に従って、ＨＦＰを酸素により酸化してＨＦＰＯを生成させ、第１混合物を得た。これにより得られた第１混合物から、常法により、ＨＦＰ、ＣＯＦ２、ＣＦ３ＣＯＦなどを適宜除去し、また、ＨＦＰＯを一部除去して、サンプル組成物Ａを調製した。 この組成物Ａの成分をフーリエ変換赤外分光光度計（ＦＴ−ＩＲ）、核磁気共鳴スペクトル（１９Ｆ−ＮＭＲ、１３Ｃ−ＮＭＲ）およびガスクロマトグラフィーにより分析した。結果を表１に示す。組成物Ａは、上述の一般式（Ｘ）で表わされるオリゴマーおよびＨＦＰＯを含んでおり、微量のＣＯＦ２も含んでいた。 次に、１２０℃に加熱したＳＵＳ製オートクレーブに、上記の通り調製したサンプル組成物Ａを液体状態で仕込み、２時間維持し、約０．４ＭＰａ（ゲージ圧力）まで上昇した。その後、組成物Ｂとしてその内容物を気相状態で取り出した。 これにより得られた組成物Ｂを、上記組成物Ａと同条件で分析した。結果を表１に併せて示す。組成物Ｂは、組成物Ａに比べて、上述の一般式（Ｘ）で表わされるオリゴマーの含有率が顕著に減少し、代わりにＣＯＦ２の含有率が増加した。これにより、オリゴマーをＣＯＦ２に、触媒なしで熱分解できることが確認された。工業的には、ＣＯＦ２の増加分がＣＯＦ２の増産量として理解され、オリゴマーの減少分が廃棄量の削減量として理解され得る。また、組成物ＢにおけるＨＦＰＯの含有率は、組成物Ａに比べて、有意に変化しなかった（分析誤差の範囲内であると考えられる）。このことは、ＨＦＰＯが分解および／または異性化しなかったことを示している。 フッ化カルボニルとヘキサフルオロプロピレンオキシドとを併産することができる。フッ化カルボニルは、例えば有機合成の試薬や、次世代ドライエッチングガスなどとして利用され得る。ヘキサフルオロプロピレンオキシドは、例えばパーフルオロビニルエーテルの原料として用いられ得、また、ヘキサフルオロプロピレンオキシドのオリゴマーは潤滑油や熱媒などとして利用され得る。 １ 反応器 ３ 熱分解器 ５、７ 分離装置 フッ化カルボニルおよびヘキサフルオロプロピレンオキシドを製造する方法であって、 ａ）ヘキサフルオロプロピレンを酸素により酸化して、ヘキサフルオロプロピレンオキシドと、以下の一般式（Ｘ）： ＣＦ３Ｏ（ＣＦ２Ｏ）ｎ−Ｒ ・・・（Ｘ）（式中、−Ｒは−ＣＯＦ、−ＯＣＯＦまたは−ＣＦ２ＣＯＦを示し、ｎは０〜５０の整数を示す。）で表わされるオリゴマーとを含む第１混合物を得る工程、および ｂ）前記オリゴマーを前記ヘキサフルオロプロピレンオキシドの存在下にて熱分解して、フッ化カルボニルおよびヘキサフルオロプロピレンオキシドを含む第２混合物を得る工程を含む方法。 第２混合物からフッ化カルボニルを含むフラクションおよびヘキサフルオロプロピレンオキシドを含むフラクションを別個に分離する工程を更に含む、請求項１に記載の方法。 第２混合物または第２混合物から分離されるフッ化カルボニルを含むフラクションを工程ａ）に付す、請求項１または２に記載の方法。 第２混合物または第２混合物から分離されるフッ化カルボニルを含むフラクションを第１混合物に加えて第３混合物とし、第３混合物または第３混合物から分離されるオリゴマーおよびヘキサフルオロプロピレンオキシドを含むフラクションを工程ｂ）に付す、請求項１または２に記載の方法。 【課題】フッ化カルボニルとヘキサフルオロプロピレンオキシドとを効率的に併産する方法を提供する。【解決手段】フッ化カルボニルおよびヘキサフルオロプロピレンオキシドを製造する方法において、ａ）ヘキサフルオロプロピレンを酸素により酸化して、ヘキサフルオロプロピレンオキシドと、一般式 ＣＦ３Ｏ（ＣＦ２Ｏ）ｎ−Ｒ（式中、−Ｒは−ＣＯＦ、−ＯＣＯＦまたは−ＣＦ２ＣＯＦを示し、ｎは０〜５０の整数を示す。）で表わされるオリゴマーとを含む第１混合物を得る工程、およびｂ）前記オリゴマーを前記ヘキサフルオロプロピレンオキシドの存在下にて熱分解して、フッ化カルボニルおよびヘキサフルオロプロピレンオキシドを含む第２混合物を得る工程を実施する。【選択図】図１